| 电子显微镜 |
| JP2013101044 2013-5-13 发明申请 |
| 2013-9-26 |
| 要解决的问题 : 同时观察光学图像的扫描电子图像和其中，进一步，其它比所述的电子所述的电子图像的图像扫描和观察扫描，和同时进行工作，一个简单的结构，以提供一电子显微镜。溶液 : 电子束被扫描和一扫描装置10，该电子束被扫描在所述样品8用于检测从一电子检测器12发出的电子11具有，在该检测结果的基础所述检测器的从扫描电子图像扫描电子显微镜2和，所述的表面上的所述样品通过检查的照射光，和散射的光从一检测由所述检测装置检测的外来异物物质和所述的异物被提供，所述电子检测器包括电子\/光和一荧光体层，所述荧光体层的荧光体从所有或几乎所有的波长带的所述传输，以便限制所述波长滤波器和; 波长滤波器接收所述荧光体，所述光\/电转换器具有一种波长检测元件，所述检查该波长的光进行滤波器具有传输波长带的波长被设定，将选择的绘制 : 图1 |
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