| 透射电子显微镜的调整方法 |
| US13804380 2013-3-14 发明申请 |
| 2013-9-26 |
| 本发明提供了一种调节透射电子显微镜的方法，以便于使离开两级滤光型单色器的电子束的焦平面与消色差平面重合的调节。 该方法从获得透射电子显微镜图像开始，该透射电子显微镜图像包括由位于单色器后面的孔产生的电子束的干涉条纹。 基于所获得的透射电子显微镜图像中的干涉条纹的强度分布，通过调节静电透镜的强度、由两个能量滤光器中的至少一个产生的电场和磁场的强度或在单色器中产生的像散，使离开单色器的光束的焦平面与消色差平面重合。 |
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