| 扫描探针显微镜与改进的特征位置的能力 |
| WOUS13032957 2013-3-19 发明申请 |
| 2013-9-26 |
| 一个SPM组件(20)包括一个SPM(26)和一宽场图像采集装置，其可以被用于快速定位感兴趣的区域和位置区域内的一个SPM的扫描范围100微米或更小。所述宽场图像采集装置可以包括一个低分辨率照相机(22)中的具有宽视场的过量12mm的，和高放大率照相机(24)具有一个场的所述单mm范围中的视图。可替换地，一单个摄像机可以被用于如果它具有足够的与两个照相机变焦能力以具有功能相当的，配置优选地是采用以坐标之间的翻译该低倍率和高放大率照相机(如果使用单独的摄像机)和所述高放大率照相机和所述SPM之间。 |
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