| 导电扫描探针显微镜 |
| JP2012054173 2012-3-12 发明申请 |
| 2013-9-19 |
| 要解决的问题 : 一个扫描探针显微镜中的导电，同时防止所述探针的电压-电流损坏或劣化特性被测量。溶液 : 样品台104，一电压生成部108，电流测量部分112，和一操作控制部分120包括一个导电扫描探针显微镜1000。所述电压产生单元108，至少在所述的表面所述样品级的测试片在接触或靠近该尖端部10a的位置6aT被提供的。一电压生成部108所述尖端和一电压被施加的样品片之间。该电流测量部分112和一个样品件的所述尖端部分之间流动的电流，所述操作控制部分120; 通过控制该电压生成部，所述测量电流值IM不超过一个基准极限电流值，以及当它是确定所述输出电压在所述电压生成部，通过继续该操作，测量电流i值m超过参考值和当它是确定所述电压产生部分，以停止所述电压输出操作，将选择的绘制 : 图4 |
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