要解决的问题 : 以解决该问题，其特征在于，它仅是困难的，以测量静电容量与一通过一接收到的杂散容量的影响探针与一杆部的一悬臂或测量中的该等一个固定量的介电常数由于以一个微小区使用所述悬臂的sndm。

溶液 : 一种方法。测量的所述介电常数包括 : 测量所述的静电容量，同时使激励由于以一个规定的幅度通过将所述探针或一个Z方向中测量样品的动作，测量一个差分值(差动容量)的所述的静电所述探针的关系中的容量和所述悬臂的所述杆部或所述等，和每个样品表面间通过被区分的距离在所述激励振幅，分离和获取差分容量与仅该探针从差所述差分容量的所述悬臂的所述探针和所述杆部上或所述等获得由所述所述的方法，获得差分容量的变化从差的差分一种高度方向的两个任意点之间的容量中; 另外，获取所述介电常数的一种任选的一种未知样品的介电常数的微小区域通过采用一种基于相对介电常数在一视频所述差分容量的充电方法和一种理论曲线变化，以及由于以一种已知的校准曲线获得的样品的介电常数。