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产业专利数据

具有倾斜尖端的扫描探针显微镜(SPM)探针

US13547378 2012-7-12 发明授权

2013-9-17

公开了一种产生用于扫描探针显微镜的探针的方法。该方法包括提供具有支撑晶片层和器件层的晶片。该方法包括用掩模层掩模晶片。该方法包括移除器件层处的掩模层的一部分。该方法包括沿着已被移除的掩模层的部分蚀刻晶片，以产生以倾斜角取向的晶体刻面表面。该方法包括沿晶体刻面表面外延生长尖端。