| 三-维的矢量力通过原子力显微镜三-维矢量和一用于检测所述的方法的一个原子力显微镜 |
| JP2012045123 2012-3-1 发明申请 |
| 2013-9-12 |
| 要解决的问题 : 光在所述检测器，所述悬臂的杆的所述方向X，Y和Z方向通过施加一自激振荡方向，Y方向，和Z方向的分离力分量，而不使用复杂的运算处理和能够测量一个3维矢量。溶液 : 所述的悬臂(1)在所述方向X，Y和Z方向在该方向的所述的自激振荡被给定，所述的扭转角由第一所产生的位移传感器(18)1是检测基于该力部件的所述的检测值在所述轴向方向X被检测到。在另一方面，所引起的位移由所述第第一传感器的偏转角(19)从2，Y方向，和Z方向的自激振荡信号被叠加在所述检测信号被获得。2从该检测信号第一的传感器(19)，一个带通滤波器(20)在所述的Y方向和通过使用一个单独的自振荡信号Z方向，x，y和z分量的一个三-维向量的力。选择的绘制 : 图。3 |
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