| 一种用激光扫描共聚焦显微镜测量表面粗糙度的方法 |
| CN201210393629.8 2012-10-16 发明申请 |
| 2013-2-13 |
| 一种用激光扫描共聚焦显微镜测量表面粗糙度的方法，属于金属材料物理性能检验技术领域。该发明通过标准样块的测定和预测试样的测定等技术步骤，解决传统方法中存在的不能给出被测表面的3D形貌问题。优点在于，实现非接触、对表面无损伤、试样放置不要求具有方向性，能清晰、直观地显示表面的3D图像微观形貌，特别是以简单和可靠的方式进行标准样块的标定程序，对试样测量结果具有一致性和可追溯性。 |
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