| 焦点维护装置和显微镜装置 |
| JP2011077528 2011-3-31 发明申请 |
| 2012-11-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一焦点维护装置被配置为减少杂散光的影响通过监测当保持所述杂散光，并执行信号处理和控制一个焦点，和一个显微镜装置。溶液 : 一焦点维护装置10用于一显微镜装置40包括 : 一光源20用于发射聚焦的光; 一个线传感器50用于检测所述聚焦光并输出一个检测信号; 一个聚焦光学系统30用于照射一样品与所述聚焦光通过物镜41和引导所述焦点反射的光通过所述样品到该线传感器50; 和一个控制部分60用于保持所述物镜的焦平面41在一规定位置。该样品通过改变所述之间的相对位置关系的所述物镜透镜41和基于所述样品在所述该状态中通过一校准信号校准的检测信号使所述聚焦从所述物镜透镜41射出的光是不再次入射到所述物镜透镜41。版权 : (C)2013，inpit |
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