紧凑型扫描探针显微镜
 
US13068052  2011-4-29  发明申请

2012-11-1
 
  一种用于包括头部的扫描探针显微镜(SPM)的扫描器,具有容纳致动器的扫描器主体和检测扫描器移动的传感器。 扫描器主体可通过手从头部移除,并且不使用工具,并且具有小于约五(5)平方英寸的总体积。 提供了用于确保耦合到扫描器的探针装置的运动基本上仅限于在预期方向上的装置。 扫描器的基波谐振频率可以大于10kHz。
 
仿站