| 显微镜与自动聚焦机构和用于所述的自动聚焦过程与显微镜 |
| DE102011003807 2011-2-8 发明申请 |
| 2012-8-9 |
| 一种用于自动聚焦方法在微观检查的样品位于所述一个显微镜物镜的焦点使用一种自动聚焦的光束路径，所述的自动聚焦的光束路径被引导，通过偏转装置设置在所述侧的所述显微镜面向离开物镜从所述样品，向所述显微镜物镜，和从接口上有一反射式的自动聚焦在所述样品区。所述的自动聚焦的光束路径被反射在所述的自动聚焦接口和引导通过该显微镜物镜和所述偏转装置朝向一自动聚焦检测器。所述偏转装置包括两个区域间隔开的从一个传播中的另一个所述的自动聚焦的光束路径方向。每个区域反映所述的自动聚焦的光束路径。所述的自动聚焦检测器被设置在一平面与所述显微镜物镜的光瞳共轭以获得一个干扰图案。所述的聚焦显微镜是调整作为一种功能所获取的干扰的图案。 |
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