| 扫描电子显微镜和用于切换所述的物镜使用相同的方法 |
| JP2010197245 2010-9-3 发明申请 |
| 2012-3-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一紧凑的扫描电子显微镜和一个用于切换所述物镜的方法使用所述的扫描电子显微镜，使一种使用所述物镜在短时间的变化。溶液 : 与所述上提供一第一螺钉部分123的外侧磁极件101的物镜透镜59，该扫描电子显微镜包括 : 一个辅助外磁极件133可拆卸到一外部磁极件101和具有，一内壁面上，一第二螺钉部分139可被拧的与所述第一螺杆部分123，和一个外壁面上，一第三螺钉部141与第二同轴螺杆部分139具有一螺纹切割与其相反的方向; 和一夹持器111所述外部辅助磁极件133的可拆卸的，并具有一第四螺钉部分117可与第三被拧的螺钉部分141的所述外部辅助磁极件133，以及在这样的一种方式被设置在一个样品台，其所述轴第四的螺纹部分117一致该样品台与所述的旋转中心。版权 : (C)2012，inpit |
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