| 扫描电子显微镜装置和使用所述相同的图像获取方法 |
| JP2010197334 2010-9-3 发明申请 |
| 2012-3-15 |
| 要解决的问题 : 图案尺寸测量中，以使高吞吐量或形状观察使用一种电子束装置。溶液 : 一种扫描电子显微镜中的装置和一种图像获取方法，其用于处理得到的SEM照片图像由成像的样品与一种扫描电子显微镜(SEM)在其一个会聚电子束的扫描电子显微镜沿所述表面施加到和扫描(SEM)的样品以检测二次电子的或反射的电子发生从所述样品和获得一个所述样品的SEM图像，所得到的SEM图像被处理到设定一个图像实现条件，所述样品的SEM照片的图像是通过获得所述扫描电子显微镜在所述的基础所述一组图像获取条件，和所述设定所述的基础上获得的所述SEM图像的图像获取条件是处理后，所述所述电子束扫描的情况当所述SEM图像用于设定所述图像实现条件是获得和所述所述电子束扫描的情况当所述SEM图像用于设定所述图像实现条件是获得被改变以获得一个SEM图像。版权 : (C)2012，inpit |
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