| 共焦扫描透射型电子显微镜装置和三-维断层摄影观察方法 |
| JP2010181829 2010-8-16 发明申请 |
| 2012-3-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一个共焦扫描透射型电子显微镜装置和一个三-维断层摄影观察方法使得原子的一薄膜层的样品在不同深度的阵列是通过一个图像观察到。溶液 : 所述共焦扫描透射型电子显微镜装置包括一个电子源，其发射电子，加速的装置所发射的电子从电子源，一聚光透镜，其中所述加速的电子束会聚在所述样品，一种扫描线圈，用于与所述电子束扫描样品表面，一个用于所述样品表面上聚焦的物镜，一个投影透镜，用于控制一个取-在所述的电子束通过所述样品散射的角度，一扫描显微镜图像检测器用于获取一扫描显微镜图像，一个分析装置，其中所述样品的分析所述组合物和一种电子状态; 一个用于测量样品厚度测量部分，和调整所述焦点深度的焦点深度调节装置的所述物镜，和被提供与一个球面像差校正装置，其中所述物镜的球面像差校正，和一个色像差校正装置，其在前的色像差校正和调整所述物镜，和还提供与一控制部分，其中调整所述物镜的色像差系数和一个测量部分，其测量所述的色散像差系数。版权 : (C)2012，inpit |
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