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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于透射电子显微镜光谱学检测器系统

US13217013 2011-8-24 发明申请

2012-3-1

一种用于透射电子显微镜的检测器系统，包括用于记录图案的第一检测器和用于记录图案的特征的位置的第二检测器。第二检测器优选为位置敏感检测器，其提供可用作反馈以稳定图案在第一检测器上的位置的准确、快速位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子光谱，第二检测器位于第一检测器后面并检测通过第一检测器的电子，检测零损失峰值的位置并调节电子路径以稳定第一检测器上的光谱位置。