| 电子显微镜用于检查具有小型化的结构和工作在一个对象 |
| DE102006043895 2006-9-19 修正或者更正专利 |
| 2012-2-9 |
| 电子显微镜(1)，用于检查和工作在一个设置在一真空室(2)的物体(O)与小型化结构，综合 : 一个源的电子束(3)用于所生产的一种电子-束，一聚焦透镜(4)用于该电子束聚焦在所述物体(O)，二次电子探测器(5)，其中所述的电子显微镜(1); 在一个方向的所述源的电子束(3)到所述聚焦透镜(4)，四个真空区域(21; 22，23，24)覆盖 : 第一真空区域(21)，其中所述源的电子束(3)被设置; 第第二真空区域(22)，其通过第一是部分地分离真空区域(21)由第一压缩相位(25)，通过所述电子束实现的，第第三真空区域(23)，其被部分地分离由所述第二真空区域(22)通过一第二压缩阶段(26)，通过所述电子束实现的，第第四真空区域(24)，其通过一第三压缩阶段(27)，通过所述电子束实现的，由第三真空区域(23)被部分地分离，在第四真空区域与一个内部真空室… |
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