| 扫描探针显微镜 |
| JP2010151245 2010-7-1 发明申请 |
| 2012-1-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一种非接触式扫描探针显微镜能够测量所述的磁性力的分布与高分辨率,而不处理一个样品(磁材料)或不恶化一个探头尖端。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括 : 一个悬臂6; 该探针5; 一力检测器8用于检测所述悬臂的位移; 一个样品台2; 和移动装置(3,4,15,19,20)用于移动所述样品架,和测量所述高度分布和所述表面的磁性力分布的样品1放置在所述样品台与非接触。该显微镜进一步包括一个交流电压源12施加一个交流电压到所述探头5,以及一个直流电压源施加一个直流电压到所述探头5,和测量所述高度分布的所述样品的表面使用一个静电的力。版权 : (C)2012,inpit |