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一种利用扫描电子显微镜测量器件台阶高度的方法及装置

US13680347 2012-11-19 发明申请

2013-9-12

一种使用扫描电子显微镜(SEM)测量装置的台阶高度的方法，该方法可以包括提供包括第一区域和第二区域的器件，其中在所述第一区域和所述第二区域之间形成台阶，通过使用SEM对所述设备进行拍照来获得所述设备的SEM图像，其中所述SEM图像包括用于所述第一区域的第一SEM图像区域和用于所述第二区域的第二SEM图像区域，将所述SEM图像转换为灰度直方图，并计算与所述第一SEM图像区域相关的第一峰值和与所述第二SEM图像区域相关的第二峰值，其中，通过改变所述SEM的焦距来重复计算所述第一峰值和所述第二峰值，并且通过分析根据所述焦距的变化的所述第一峰值的变化趋势和根据所述焦距的变化的所述第二峰值的变化趋势来确定所述台阶的高度。