| 带电粒子侦测装置、侦测方法以及扫描式电子显微镜 |
| TW098126926 2009-8-11 发明授权 |
| 2013-9-11 |
| 一带电粒子侦测装置，包括多个独立光导模组组装在一起形成一具有让入射带电粒子束通过之中央孔洞之透镜内在轴区块环绕侦测装置。此组件於正对试片之一面，涂布或结合闪烁材料作为带电粒子侦测表面。每一光导模组与光电倍增管耦合以让传递自每一光导模组之光信号得以分别被放大及处理。一带电粒子侦测装置从整块状光导材料制成，从其一面挖出一圆锥形止於相对面，圆锥之末端开口以让入射带电粒子束通过。相对面涂布或结合闪烁材料作为带电粒子侦测面。光导块之外部加工成四个独立的光信号输出通道，每一输出通道与一光电倍增管耦合以让各个通道之输出信号得以分别被放大及处理。 |
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