| 扫描电子显微镜 |
| WOJP13053608 2013-2-15 发明申请 |
| 2013-9-6 |
| 本发明的目的是提供一种扫描电子显微镜能够增加的分辨率和改进图案识别能力。为了达到相同的，一种扫描电子显微镜包括一单色器(20)使电子束(3)。单色被提供，其中 : 所述单色仪包括一个磁场发生器(21)该电子束偏转，和一个能量选择孔径(23)，其允许该电子束偏转的部分通过所述磁场发生器穿过; 和一个孔(27)，其允许一些所发射的电子通过的一样品以通过和检测器(28，29)，其检测电子，其具有通过所述孔径，被设置在一个轨道到其所述的电子从所述样品发出的偏离由所述磁场发生器所产生的磁场。 |
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