| 扫描电子显微镜 |
| WOJP13053786 2013-2-18 发明申请 |
| 2013-9-6 |
| 这种扫描电子显微镜被配置成使得一个开口用于限制是不提供离轴的角度，和角度从样品发出的电子可以发生的判别。该扫描电子显微镜包括偏转器(25，26)使所述电子束偏转所述的照射位置(1)，和一控制装置(41)，其控制该偏转器，还包括 : 一检测器(28(a))，其检测通过照射所获得的电子电子束在一个样品(23); 一个开口形成部件(31)之间设置所述检测器和所述偏转器，和其具有一通道开口用于所述电子束; 和二次信号偏转器(33(a)，33(b))，其偏转从所述样品发射的电子。该扫描电子显微镜被配置成使得所述二次信号控制偏转器以偏转所述从所述样品发射的电子向该通道用于所述的电子束开口，在根据与所述的偏转控制该偏转器(25，26)。 |
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