| 提供深度分辨图像带电粒子显微镜 |
| US13856899 2013-4-4 发明申请 |
| 2013-9-5 |
| 一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括将样品安装在样品保持器上； 使用粒子-光柱将至少一束粒子辐射引导到样品的表面S上，由此产生使发射的辐射从样品发出的相互作用； 使用检测器装置来检测所述发射的辐射的至少一部分，其方法包括实施所述检测器装置以检测所述发射的辐射中的电子； 记录作为所述电子的动能En的函数的所述探测器装置的输出On，从而为En的多个值编制测量集M={(On，En)}； 使用计算机处理设备自动解卷积测量集M并将其空间分解为结果集R={(Vk，Lk)}，其中空间变量V示出在参考表面S的相关离散深度层Lk处的值Vk，其中n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示作为其体中位置的函数的样本的物理性质。 |
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