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原子力显微镜探针
US13592852 2012-8-23 发明授权
2013-8-20
原子力显微镜探针包括碳纳米管微尖结构。 所述碳纳米管微尖结构包括绝缘衬底和图案化碳纳米管膜结构。 绝缘基板包括表面。 所述表面包括边缘。 图案化碳纳米管膜结构部分设置在绝缘衬底的表面上。 所述图案化碳纳米管膜结构包括连接在一起以形成从所述绝缘衬底的表面的边缘突出和悬挂的尖端部分的两个条形臂。 两个条形臂包括多个平行于绝缘衬底表面的碳纳米管。
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