| 用于控制文氏滤波器，用于扫描电子显微镜的方法和扫描电子显微镜具有电子束对准功能 |
| KR1020110110422 2011-10-27 发明申请 |
| 2013-5-7 |
| 目的 : 一种方法用于控制一文氏滤波器，用于一种扫描电子显微镜和所述扫描电子显微镜包括电子光束对准功能被提供给控制所述电子束以达到所希望的目标点在一个样品，通过使用所述文氏滤波器。 构成 : 两个样本之间设置一检测器。所述检测器检测发射电子。一维恩滤波器(160)被设置在所述检测器的所述向下。所述文氏滤波器控制所述电子束的运动轨道和所发射的电子通过产生一个磁场和一个电场。一控制部分(190)控制所述电场和磁场施加到所述文氏滤波器。 [参考标号](190)控制部; (191)施加部; (192)第一计算部; (193)第二计算部; (194)第三计算部 版权kipo2013 |
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