| 使用导电球的压痕检查方法的微分干涉相差显微镜 |
| KR1020100126639 2010-12-13 发明授权 |
| 2013-1-31 |
| [docdb]目的 : 一种压痕检查方法的一导电球使用差分干涉对比度显微镜来执行一种自动聚焦和检查时使用一个检查摄像头，无需分立的聚焦相机因该构件的处理通过减少每第二增加了屏幕的感兴趣区域。结构 : 一种压痕检查方法的一导电球使用差分干涉相衬显微镜如下。一种自动聚焦和巡检功能通过使用一个检查摄像头(100)。在执行自动聚焦，降低了感兴趣的区域作为特定区域不全尺寸的测试对象，使得高速自动聚焦进行。在进行检查，感兴趣的区域控制在软件方式，从而通过扩大拍摄到检查区域的整个区域。 |
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