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原子力显微镜真形测量法
US12404849 2009-3-16 发明授权
2012-10-23
一种原子力显微镜(AFM)方法包括扫描探针,扫描探针扫描结构的表面以产生第一结构图像。 然后,该结构相对于扫描探针旋转90°。 扫描探针再次扫描结构的表面以产生第二结构图像。 组合第一和第二结构图像以产生结构的表面积的最佳拟合图像。 同样的方法被用来产生平面标准的最佳拟合图像。 从结构的最佳拟合图像中减去平坦标准的最佳拟合图像,以获得Z方向跳动误差显著减小或消除的真实地形图像。
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