| 一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法 |
| CN201210158927.9 2012-5-21 发明申请 |
| 2012-9-19 |
| 一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法，其控制器(1)产生控制二维柔性铰链扫描台(2)的X方向和Y方向的移动信号，经X向和Y向高压驱动器(7、8)的放大后，控制二维柔性铰链扫描台实现X方向的扫描运动和Y方向的步进移动。X方向激光传感器(3)和Y方向激光传感器(4)采集二维柔性铰链扫描台(2)的位置信号。在二维柔性铰链扫描台(2)逐点移动过程中，信号检测模块(6)完成来自二次电子探测器(5)的二次信号的模数转换，以及来自X方向及Y方向激光传感器(3、4)位置信息的锁存处理功能。通过上述基于扫描台移动方式的逐点扫描成像方法获得的扫描图像中的每个像素点都具有位置坐标信息，最终实现可溯源的，具有纳米级计量精度的扫描电子显微镜成像方法。 |
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