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产业专利数据

带电粒子显微镜用探测器

US13396171 2012-2-14 发明申请

2012-8-16

公开了一种使用带电粒子显微镜调查样品的方法。通过将带电粒子的成像束引导到样品上，从样品检测得到的输出辐射通量。使用检测器检查输出辐射的至少一部分，该检测器包括固态光电倍增器。固态光电倍增管被偏置，使其增益与输出辐射通量的大小相匹配。