| 共焦激光扫描显微镜和一种方法用于检查一样品 |
| WOEP11070623 2011-11-22 发明申请 |
| 2012-5-31 |
| 一个共焦激光扫描显微镜(20)，用于检查一样品(46)具有一光源(22)，它产生一个照明光光束(24)，和一个扫描单元(38)，其偏转所述的照明光光束(24)，使得其光学扫描该样品(46)。一个主光束分路器(34)将所述的照明光光束(24)从所述样品从检测光(48)出射(46)。所述检测光(48)从所述的照明光束分离(24)通过至少部分地通过检测针孔膜片(50)。至少两个检测器单元(102，104，106)检测所述检测光(48)通过所述检测针孔光阑(50)。一个光学元件(62)被设置在所述检测针孔光阑(50)之间的束方向和所述检测器单元(102，104，106)和将所述检测光(48)成至少两个光束的束(70，72，74)和频谱分解它在所述光束的束(70，72，74)。 |
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