一传输电子显微镜,和三-维图像获取方法。
 
JP2012037043  2012-2-23  发明申请

2013-9-2
 
  要解决的问题 : 一个传输电子显微镜下所述区域,所述三维图像质量。溶液 : 所述控制计算机30,通过所述控制装置20,一预定角度范围内的一预定角度该样品6的间隔是在一个倾斜的倾斜角度,其被设置在所述样品6是较窄比该范围的整个范围上照射区域的所述扫描电子束2通过一个观察者,该该扫描预定的时间和聚焦它在多个位置的,对应于所述照射区域的所述所述发送的样品图像,获取的图像检测器9通过,所发送的图像是通过观察集成在所述整个范围,该整个传输范围。此外,所述控制计算机30,或更多,其被传输作为一个整体从所得到的,和每个切割所观察到的图像的观察角度的范围通过使用一个三-维图像的整个范围。选择的绘制 : 图。1
 
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