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使离子束与样本相互作用的方法、以离子喷溅样本的方法、以离子束与电子束研究样本的方法、结合扫描电子显微镜与气体场离子源的系统

TW095142350 2006-11-15 发明授权

2013-9-1

本发明揭示离子源、系统及方法。