| 光学光栅具有两个scaneinheiten显微镜 |
| DE102012101344 2012-2-20 发明申请 |
| 2013-8-22 |
| 本发明指的是一种光学光栅显微镜以及作为以一种使用这种光学光栅的显微镜用于扫描光的一个样品与至少一个源，其可以被检查，用于发送一个读辐射，一种读取光线的路径和一个检测光线的路径分离光束分束器，一个说明可单元的上游设置在所述读取所述样品的光线的路径和至少一个说明物镜，用于扫描所述样品通过所述读辐射，和所述分束器在所述检测光线的路径连接在所述出口侧设置检测可以单元具有至少一个检测所检测的周围的光学部件聚焦的辐射检测器和到光栅上。 |
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