| 利用脉冲光制备显微镜样品的方法和设备 |
| US13765022 2013-2-12 发明申请 |
| 2013-8-22 |
| 公开了使用光脉冲制备显微样品的方法和设备。 去除大于100μm3的材料体积。 所述方法包括用扫描电子显微镜(SEM)或聚焦离子束(FIB)检查物体。 检查包括记录对象的图像。 所述方法还包括在所述对象内描绘要研究的区域，以及基于所述对象的图像描绘激光加工路径，以便可以从所述对象制备样品。 所述方法还包括使用沿着所描绘的激光加工路径的激光加工来移除要烧蚀的体积，以及使用扫描电子显微镜(SEM)或聚焦离子束(FIB)来检查所述对象。 |
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