| 透射电子显微镜 |
| US13757939 2013-2-4 发明申请 |
| 2013-8-15 |
| 一种透射电子显微镜(100),包括电子束源(2)、照明透镜(10)、物镜(20)、中间透镜系统(30)、位于中间透镜系统(30)后面的一对转移透镜(40)和用于根据能量分离透射通过样品(S)的束L的电子的能量过滤器(60)。 传送透镜(40)将第一图像传送到能量滤波器(60)的入口交叉平面(S1),并将第二图像传送到滤波器(60)的入口图像平面(A1)。 在第一转移透镜(40a)和第二转移透镜(40b)之间形成像面(a3)。 |