探针显微镜用零热膨胀、低传热、变温样品组件
 
US13622623  2012-9-19  发明申请

2013-8-15
 
  描述了一种用于扫描探针显微镜(SPM)的可变温度组件,其最小化或消除由样品保持器组件和其上安装有该组件的平台/扫描台的热膨胀或收缩引起的样品的运动,并最小化平台/台的加热或冷却。 在加热器形式中,所述可变温度组件包括薄氮化硼圆盘,所述薄氮化硼圆盘具有沿所述圆盘的下侧嵌入的一条或多条高电阻率线。 冰球被固定在显微镜工作台上的柱子悬挂在抛光的顶部表面上。 圆盘的所有热膨胀都发生在远离SPM探针-样品界面的向下方向,因此消除了探针尖端和样品表面之间的相对运动。 由于柱的独特几何形状和这里所述的圆盘-柱附接构造,圆盘的顶表面保持静止。
 
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