| 一种多功能扫描电镜样品台 |
| CN201220666923.7 2012-11-30 实用新型 |
| 2013-8-14 |
| 本实用新型目的在于提供一种多功能扫描电镜样品台，使用该样品台能够实现样品的表面、截面、不同倾斜角、不同高度的测试同批次进行，达到节省扫描电镜测试时间以及降低测试成本的目的。其特征是该样品台由一个圆形基板，几个长方体块，一个长方形平板几部分组成。圆形基板用来进行样品的表面测试以及固定其他部件；长方体块可以用来进行样品的表面、截面和不同高度样品的测试，长方形平板可以用来进行样品的不同倾斜角测试。摘要附图为能够同批次进行样品表面、截面、30°倾斜角的测试的样品台设计图。所提供的多功能扫描电镜样品台在涉及到扫描电镜测试的科学研究和生产的领域具有很大的应用价值。 |
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