| 利用扫描电子显微镜图像进行三维绘图 |
| US13365238 2012-2-2 发明申请 |
| 2013-8-8 |
| 一种方法包括用初级电子束照射由多种类型的材料构成的样品的表面。 使用相对于样品定位在相应不同位置的多个检测器来检测从辐照样品发射的发射电子，从而产生相应的检测器输出。 通过针对每种材料类型识别由材料类型构成的表面上的一个或多个水平区域，并基于在所识别的水平区域处的检测器输出中的至少一个计算材料类型的校准因子，计算校准因子以补偿材料类型之间的发射电子产额的变化。 校准因子应用于检波器输出。 基于应用校准因子的探测器输出计算表面的三维地形模型。 |
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