| 相位调制装置和激光显微镜 |
| WOJP13052390 2013-2-1 发明申请 |
| 2013-8-8 |
| 一个相位调制装置(3)波引起的表面像差校正由于光学系统，其包括一物镜透镜(4)设置在所述光通量的光路径的相干光从相干光发射源(1)。为了这样做，该相位调制装置(3)具有一个相位调制元件(11)在其一个多个电极被形成的，其是用于调制所述光通量的相位根据一个电压施加到那些电极，和一控制电路(12)用于控制所述电压施加到所述多个电极的。所述控制电路控制所述电压施加到所述多个电极，使得一个相位调制量的被施加到光通量，所述相位调制量是根据与一个相位调制中的轮廓具有相位分布的反向所述的极性确定根据关系表达式所述物镜的数值孔径(4)和所述之间的比第三阶球面像差和第五阶球面像差当使用Zernike多项式解析该波形的相位分布引起的像差由于以一个光学系统。 |
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