| 扫描探针显微镜 |
| JP2013002630U 2013-5-14 实用新型 |
| 2013-7-25 |
| 要解决的问题 : 样品装在顶部的扫描仪,从上方与光学显微镜观察扫描探针显微镜,即使在体质,在照明的同时可以观察样品的样品由光学显微镜和扫描探针显微镜。方法 : 扫描仪1和致动器的柱状压电元件11,安装在顶部的部分的样品,与圆柱形空腔连通的所述压电元件上设有开口(贯通孔),圆筒状压电元件11在空腔内的非接触式基础的样品架3通过达到在所述尖端的附近,和,在其端部,用于照明光照射装置(103)设置和,用于照明的照明光从照明装置103,如样本保持器3照射在样品背面,通过光学显微镜观察的透过率照明。选择绘制 : 图。2 |