| 显微镜和检查仪器 |
| US13744890 2013-1-18 发明申请 |
| 2013-7-25 |
| 一种系统，包括显微镜和检查设备，其中使用具有大数值孔径的物镜来检测样品内部存在的缺陷。 光源装置产生线偏振光。 光耦合到光源装置的保偏光纤将线偏振光以基本上等于样品的布鲁斯特角的入射角作为P偏振光的照明光束投射到样品表面上。 由样品中存在的缺陷产生的散射光从样品发射并被光轴垂直于样品表面的物镜收集。 由于P偏振光的照明光束以等于样品的布鲁斯特角的入射角被投射，因此不发生表面反射，并且可以使用具有大数值孔径的物镜。 |
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