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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

真空装置和扫描电子显微镜

US13120344 2009-9-24 发明授权

2013-7-23

一种真空装置，包括 : 密封外壳、电子束源、电子光学元件、薄膜和检测器。所述薄膜密封所述密封壳体的孔。密封壳体限定了保持真空的真空空间。电子束源被配置成产生在真空空间内传播、与电子光学部件相互作用并穿过薄膜的电子束。密封壳体的第一部分成形为适合由保持在非真空环境中的非真空扫描电子显微镜部件限定的空间。