| 扫描显微镜 |
| JP2012002765 2012-1-11 发明申请 |
| 2013-7-22 |
| 要解决的问题 : 共轭pupile的XY两个组件可以被实现，以提供一个扫描显微镜。溶液 : 该扫描显微镜10，通过与照明光照射一样品，所述发出的光从所述样品收集器和一物镜透镜37，该光瞳所述物镜透镜37和投影图像的投影透镜34，这些透镜37，34和在一个平面大致垂直于所述的光学轴第一11中旋转所述偏转元件33a的所述方向X，和，在所述的平面第一和第二所述的方向基本上在所述的方向正交的122旋转所述偏转元件33aY和扫描的扫描单元33; 1和2在从第一方向不同的折射光焦度，第一，第二和第三的光学轴11在所述的光学轴的方向和包括一个第一面和第第二面22在该轴方向的方向pupile所述光瞳上的图像在不同位置的位置调整光学系统35和，具有一，11第一第一的表面偏转元件33a的X光瞳的图像和所述中心旋转的是位于基本上相同的位置处，第二的表面第一的偏转元件33aY22在大约所述的光瞳的图像中相同的位置和被这样排列，使得所述的中心旋转。选择的绘制 : 图。2 |
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