| 扫描电子显微镜 |
| JP2012004581 2012-1-13 发明申请 |
| 2013-7-22 |
| 要解决的问题 : 一扫描型电子显微镜中，和所述样品是带电的扫描操作，所述发生所观察到的图像的漂移的。电荷在该扫描操作，以便控制所述的速度和以提供一种技术。溶液 : 该扫描速率，该时钟控制的扫描坐标和所述的时钟周期(11a，坐标数据的所述扫描操作依赖于所述接入到该存储器存储的速度。以坐标控制时钟的位置，偏转控制信号生成部112被提供到所述侧的，所述所述时钟信号传输的边缘由于该坐标数据的读取dulness故障被消除。此外，所述取样时钟信号109同步中和，同时高速扫描的图像获取。选择的绘制 : 图。1 |
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