制备的方法和测量所述大尺寸物体的表面通过所述扫描探针显微镜
 
RU2011151464  2011-12-19  发明申请

2013-7-10
 
  1。制备所述的方法和测量所述大尺寸物体的表面通过所述扫描探针显微镜,其包括整形测量表面的机械,使其特征在于,所述的事实,另外是形成所述调节区,在通过其为建立的扫描探针[mikroskop]。2。所述的方法制备大尺寸和测量所述的表面上的对象通过所述扫描探针显微镜[P]。1,其特征是由所述的事实所述调节通过装置的区域是形成其研磨通过研磨与所述供给盘的下它超声波[kolebaniy]。3。所述的方法制备大尺寸和测量所述的表面上的对象通过所述扫描探针显微镜[P]。2,其特征是由所述的事实所述调节通过装置所供应的区域是形成下所述所述正弦的磨料盘的所述超声波的波动[formy]。4。所述的方法制备大尺寸和测量所述的表面上的对象通过所述扫描探针显微镜[P]。3,其特征是由所述的事实所述调节通过装置所供应的区域是形成下所述磨料盘的所述超声正弦形式的波动与那些切断的[vershinami]。5。所述的方法制备大尺寸和测量所述的表面上的对象通过所述扫描探针显微镜[P]。1,其特征是由所述的事实所述调整区域是形成通过其研磨的装置与所述随后的动作超过其通过所述集中的辐射通量,被熔化,该区融合它们的主题下硬化和形成[mikrorelef]。6。所述的方法制备大尺寸和测量所述的表面上的对象通过所述扫描探针显微镜[P]。1,其特征是由所述的事实所述调整区域通过基于其研磨的装置是形成在[posl]
 
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