| 电子显微镜和装置，用于保持样品用于电子显微镜 |
| WOJP12078274 2012-11-1 发明申请 |
| 2013-7-4 |
| 本发明的目的是提供一种电子显微镜和一种装置用于保持一个样品用于一个电子显微镜，其中所述温度和湿度的气氛中在所述的电子显微镜单元可以被准确地控制。一个电子显微镜具有一个用于发射第一电子束的电子源，一个物镜，用于使第一电子由所述的电子源发射的光束以会聚和集束第一的电子束到所述样品; 一个检测器用于检测从所述样品所产生的信号，一控制装置，用于形成一个样品图像在所述所述信号的基础从所述检测器，一显示装置，用于显示所述样品图像，和一个样本保持装置(6)，用于保持所述样品; 所述的电子显微镜的特征是，在被提供有 : 一气体供应装置用于提供所述气体被引入到所述样品室; 气体导入管(17a，17b)，用于从所述气体引入所述气体供给装置到所述样品室; 和一个加热器(24)用于控制所述温度的所述气体导入管(17a，17b)，所述加热器被位于在所述气体导入管(17a，17b)。 |
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