| 扫描电子显微镜和测量的误差校正方法，其 |
| KR1020110140390 2011-12-22 发明申请 |
| 2013-7-2 |
| 本发明涉及电子扫描显微镜涉及，检测所发射的电子照射的测试感测所述目标中的电子扫描显微镜观察，检测测试样品中所述的电子通过照射一电子枪，从而它是释放，其是加载与样品样品保持部，位于外侧显微镜的扫描电子显微镜在根据与一个操作的操作部具有一水平凹槽样品保持该滑动运动所述右-上和左方向或一个致动器，用于驱动一个，所述的电子从所述样品发出的所述感测电子感应传感器，所述样品保持在一个用户的一个上部，和一个样品保持所述被所述右-和-左方向，以导向，一个振动中心由感测所述水平和垂直方向的振动，该振动传感器包括传感器基座，一个所述基座的一端，其被安装在所述流动从所述扫描显微镜电子所述，所述数据库是所述电子扫描显微镜所述钩，它可以支持一个支撑包括一个，所述振动感测在该口一个光点的水平和垂直底座所述，当所述水平和垂直这种其特征在于其中的振动。根据本发明所述凹槽，和至少一个，是提供与轴承所述的电子扫描显微镜所述基座的所述的电子扫描显微镜具有一个内表面邻接的所述平面当压缩所述接地线通过位于外部被合并的X-样品Y的电子扫描显微镜根据所述控制单元的操作从而，以通过使用一螺钉喷嘴部分之间的X-方向Y上产生的措施，减少或所述测量和涂层防止该误差，和其可被制造的，所述振动感测在该口的一个光点的水平和垂直底座所述，当所述该水平和垂直振动器的所述的电子扫描显微镜的双头螺栓被形成在所述通过一个简单的方式测量的装置上产生一个预定的。。 |
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