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透射干涉显微镜
US13700468 2011-5-26 发明申请
2013-6-27
本发明公开了一种透射干涉显微镜,其在获得纯透射信息的同时为被观察区域提供自由度,并且在优化的辐射条件下以高放大率获得高精度的干涉图像。 从电子源(1)发射的电子束被位于会聚透镜(3)下方的双棱镜(11)分束,并作为穿过样品的电子束(6)和穿过真空的电子束(7)进入物镜(4)。 电子束在物镜4的前磁场处弯曲,并且在样品位置和真空各自适当地留有空间的状态下作为准直光束发射。
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