| 数据的处理装置,用于扫描探针显微镜 |
| JP2011271629 2011-12-12 发明申请 |
| 2013-6-20 |
| 要解决的问题 : 3-维功率分布在所述该固体的所述表面的附近空间可以获得通过测量所述SPM结构的分析基于所述的三维数据3处,或所述的存在或不存在该异常所述用户感兴趣的区域容易,可视地显示·可操作性。溶液 : 3-维空间中,其中所述数据值在每个所述三个三维对象50的位置根据一色标显示的是,所述用户想确认适当的切割平面51(E。G。X,Y平面)·旋转运动。所述显示处理部,其是由一平面51位于上切割所述2-基于三维分布图像52在所述各个数据值,Z轴方向产生一个不均匀的图像53具有一波浪形。当所述异常值,因为所述凹陷和突起或突出部,该用户可以容易地观看该部分以一个异常值。此外,通过点击指示的一个不均匀的图像53的所述圆周部分上的正确的数据是用于; 这样的一个异常值的校正可以容易地进行。选择的绘制 : 图。3 |