| 方法和装置,用于控制一个扫描探针显微镜 |
| WOEP12075295 2012-12-12 发明申请 |
| 2013-6-20 |
| 本发明涉及一种用于控制一个扫描探针显微镜方法具有一个探针(2)具有一尖端(21)用于与一个样品(4)交互,和一个nanoscanner(1),用于保持所述样品(4)或所述探头(2); 包括监测所述扩展的所述压电元件的所述步骤(1)沿一第一沿方向R,其中所述尖端(21)被移向该样品(4),所述探头和调整所述的电平(2)沿第一方向(r)通过一附加致动器的装置(3),当所述nanoscanner(1)具有一个扩展的下方或上方的一个阈值值。本发明还涉及一种装置(100)用于控制一个扫描探针显微镜。 |