| 一种扫描电子显微镜二次电子探测器和方法。 |
| JP2011267068 2011-12-6 发明申请 |
| 2013-6-17 |
| 要解决的问题 : 结构简单，低角度和高导出discirminating或反射的反射电子的角度从二次电子。溶液 : 扫描电子显微镜是本发明相关的，所述样品电压源36被提供，用于获取所观察的图像的所述样品的表面13在该时间，所述样品电压源36以该样品13从，例如，一正电压被施加到300AV，照射该样品13，该初级电子束2。在这种情况下，所述二次电子33从所述样品的表面13和排出作为一种反射电子31，该二次电子33，一正电压被施加到所述样品用于一13绘制的，从该样品13，基本上只反射所述的电子31被释放。此外，一反射电子31所述高角度反射电子31a，所述物镜透镜12，以达到通过所述顶部它们。因此，一个二次电子探测器22，低角度反射电子31b是一物镜透镜或所述的等当所述二次发射的电子通过32，在换句话说，低角度导出的反射电子31b只二次电子32被检测到。选择的绘制 : 图。2 |
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